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    • 专利摘要:
    本發明提供一種圖案形成方法，其特徵在於：將光阻組成物塗佈在基板上，於加熱處理後以高能量射線將光阻膜曝光，且在加熱處理後使用利用有機溶劑之顯影液使未曝光部溶解，得到曝光部不溶解之負型圖案；該光阻組成物包含含有將具有經酸不穩定基取代的羥基之環烯烴聚合而成的重複單元之高分子化合物、酸產生劑、以及有機溶劑，或者包含含有將具有經酸不穩定基取代的羥基之環烯烴聚合而成的重複單元與鋶鹽之重複單元的高分子化合物、以及有機溶劑。利用本發明的光阻膜，有如下特徵：在利用有機溶劑的顯影之正負反轉的圖像形成中，未曝光部分之溶解性高、曝光部分之溶解性低、溶解對比度高、蝕刻耐性高。
    公开号:TW201305734A
    申请号:TW101121160
    申请日:2012-06-13
    公开日:2013-02-01
    发明作者:Jun Hatakeyama；Tomohiro Kobayashi；Koji Hasegawa
    申请人:Shinetsu Chemical Co；
    IPC主号:G03F7-00
    专利说明:
    圖案形成方法及光阻組成物
    本發明係關於一種圖案形成方法，其係用以在曝光後，利用酸與熱實施去保護反應，並利用特定有機溶劑進行顯影形成未曝光部分溶解，曝光部分不溶解之負型(negative tone)。本發明並關於用以實現該方法之光阻組成物。
    近年來伴隨LSI之高積體化與高速度化，係需要圖案規則之細微化，而目前作為通用技術使用的光曝光中，即將接近來自於光源的波長之實質解析度的極限。使用於光阻圖案形成之際的曝光光，在1980年代中係廣泛的利用將汞燈之g射線(436nm)或是i射線(365nm)作為光源的光曝光。用以更進一步細微化的方法，將曝光波長短波長化的方法係為有效，而在1990年代之64M位元(加工尺寸為0.25μm以下)DRAM(動態隨機存取記憶體；Dynamic Random Access Memory)以後的量產程序中，曝光光源係利用短波長的KrF準分子雷射(248nm)代替i射線(365nm)。但是，在需要更細微的加工技術(加工尺寸為0.2μm以下)之積體度256M及1G以上之DRAM的製造中，需要更短波長的光源，人們約由10年前開始正式的研究使用ArF準分子雷射(193nm)的光微影。起初ArF微影應當由180nm節點的元件製作開始應用，但KrF微影應用延長至130nm節點元件量產為止，ArF微影之正式應用係由90nm節點開始。再者，人們係與NA提高至0.9為止之透鏡組合而探討65nm節點元件。之後的45nm節點元件中，人們係推展曝光波長之短波長化，並提出波長157nm的F2微影作為候選者。然而，由於利用將昂貴的CaF2單晶大量用於投影透鏡的掃描器之成本提高、伴隨軟遮罩護膜之耐久性極低所需的硬遮罩護膜導入之光學系的改變、光阻膜之蝕刻耐性下降等之種種問題，故終止F2微影之開發，導入ArF浸潤微影。
    ArF浸潤微影中，在投影透鏡與晶圓之間藉由部分填充(partial fill)方式插入折射係數1.44的水，根據前述可進行高速掃描，並利用NA1.3級的透鏡進行45nm節點元件的量產。
    32nm節點的微影技術，可提出候選之波長13.5nm的真空紫外光(EUV)微影。EUV微影的問題點可舉出雷射之高功率化、光阻膜之高感度化、高解析度化、低邊緣粗糙度(LER、LWR)化、無缺陷MoSi疊層遮罩、反射鏡之低像差化等，需克服的問題堆積如山。
    32nm節點之另一候選的高折射係數浸潤微影，由於作為高折射係數透鏡候選之LUAG的穿透率低與液體的折射係數無法達到目標之1.8而終止開發。
    在此之最近備受矚目者為：在第1次的曝光與顯影形成圖案，並於第2次的曝光而恰在第1次的圖案之間形成圖案的雙圖案成形程序(double patterning process)。雙圖案成形的方法，係有人提出多種的程序。例如，在第1次的曝光與顯影形成線與間距為1：3之間隔的光阻圖案，以乾式蝕刻加工下層的硬遮罩，並於其上方塗敷另1層硬遮罩，在第1次的曝光之間距部分以光阻膜之曝光與顯影形成線圖案，以乾式蝕刻加工硬遮罩，形成最初之圖案的節距之一半之線與間距圖案的方法。再者，在第1次的曝光與顯影形成線與間距為1：3之間隔的光阻圖案，以乾式蝕刻加工下層的硬遮罩，並於其上方塗佈光阻膜，在殘留硬遮罩的部分曝光第2次的間距圖案，以乾式蝕刻加工硬遮罩。無論是何種均以2次的乾式蝕刻加工硬遮罩。
    相較於線圖案，孔圖案細微化有其困難。習知法為了形成微孔，欲於正型光阻膜組合孔圖案遮罩，並藉由曝光不足予以形成時，曝光範圍變得極為狹小。因此，有人提出形成大尺寸的孔，利用熱流(thermal flow)或RELACSTM法等將顯影後之孔收縮的方法。然而，顯影後之圖案尺寸與收縮後之尺寸差異大，會有收縮量愈大，控制精度愈低的問題。又，孔收縮法可縮小孔的尺寸，但無法令節距變窄。
    有人提出使用正型光阻膜，藉由偶極照射而形成X方向的線圖案，令光阻圖案硬化，於其上方再次塗佈光阻組成物，以偶極照射將Y方向的線圖案曝光，並藉由格子狀線圖案之間隙形成孔圖案的方法(非專利文獻1：Proc.SPIE Vol.5377,p.255(2004))。藉由組合利用高對比的偶極照射之X、Y線而可在寬廣的範圍形成孔圖案，但難於將組合於上下的線圖案提高尺寸精度而蝕刻。有人提出組合X方向線之雷文生(Levenson)型相位移遮罩(phase shifter mask)與Y方向線之雷文生型相位移遮罩，將負型光阻膜曝光而形成孔圖案的方法(非專利文獻2：IEEE IEDM Tech.Digest 61(1996))。但是，因為交聯型負型光阻膜以橋接範圍決定超細微孔的極限解析度，故有解析能力較正型光阻膜低的缺點。
    藉由組合X方向之線與Y方向之線的2次曝光予以曝光，並利用圖像反轉令其成為負圖案而形成的孔圖案，由於可藉由使用高對比的線圖案之光而形成，故可較習知方法採更窄節距且可令細微的孔形成開口。
    非專利文獻3(Proc.SPIE Vol.7274,p.72740N(2009))中，有人報導利用以下3種方法之利用圖像反轉的孔圖案之製作。
    詳言之，前述係為：藉由正型光阻組成物的X、Y線之雙偶極的2次曝光而製作點狀圖案，於其上方以LPCVD形成SiO2膜，並以O2-RIE將點反轉為孔的方法、利用加熱，使用可溶於鹼且不溶於溶劑之特性的光阻組成物，以相同方法形成點狀圖案，於其上方塗佈酚系的保護膜，並藉由鹼顯影而令其圖像反轉形成孔圖案的方法、藉由使用正型光阻組成物進行雙偶極曝光，並利用有機溶劑顯影之圖像反轉而形成孔的方法。
    在此之利用有機溶劑顯影之負圖案的製作，係為從以前開始所使用的方法。環化橡膠系的光阻組成物，係將二甲苯等之烯烴作為顯影液使用，而聚第三丁氧羰氧苯乙烯系之初期的化學增幅型光阻組成物，係將苯甲醚作為顯影液而得到負圖案。
    近年來有機溶劑顯影係再次受人矚目。為了將正型中無法達成之非常細微的孔圖案以負調之曝光解析，以使用解析性高之正型光阻組成物的有機溶劑顯影形成負圖案。再者，藉由組合鹼顯影與有機溶劑顯影之2次的顯影而得到2倍之解析能力的研究亦有進展。
    利用有機溶劑之負調顯影用的ArF光阻組成物，可使用習知型的正型ArF光阻組成物，且於專利文獻1,2(日本專利第4554665號公報、日本特開2009-258586號公報)中揭示圖案形成方法。
    負型顯影所形成的光阻圖案，因為環狀的保護基經去保護，所以蝕刻耐性低。特別是聚甲基丙烯酸酯基礎之光阻的情況中，由於環狀部分幾乎具有保護基，故保護基經去保護而殘留之膜的蝕刻耐性之下降很嚴重。
    前述專利文獻2中，係表示根據將聚降冰片烯作為基礎之酸，將可溶於鹼的光阻利用有機溶劑顯影而得到負圖案的方法。該情況中，即使保護基經去保護，在主鏈也具有環狀結構，因此蝕刻耐性之下降減至最少。然而，聚環烯烴基礎樹脂對於有機溶劑的溶解性低，因此有負顯影之溶解對比低、解析性低的問題。
    在有機溶劑顯影程序中，於光阻膜上應用保護膜的圖案形成方法，係公開於專利文獻3(日本特開2008-309878號公報)。
    在有機溶劑顯影程序中，於旋轉塗佈後的光阻膜表面配向光阻組成物，使用提升撥水性的添加劑，且未使用表塗層的圖案形成方法，係示於專利文獻4(日本特開2008-309879號公報)。 [先前技術文獻] [專利文獻]
    [專利文獻1]日本專利第4554665號公報
    [專利文獻2]日本特開2009-258586號公報
    [專利文獻3]日本特開2008-309878號公報
    [專利文獻4]日本特開2008-309879號公報
    [非專利文獻1]Proc. SPIE Vol. 5377, p.255(2004)
    [非專利文獻2]IEEE IEDM Tech. Digcst 61(1996)
    [非專利文獻3]Proc. SPIE Vol. 7274, p.72740N(2009)
    相較於利用去保護反應而產生酸性之羧基等且溶於鹼顯影液之正型光阻系，有機溶劑顯影之溶解對比度較低。鹼顯影液之情形，未曝光部與曝光部的鹼溶解速度之比例有1,000倍以上的差異，但有機溶劑顯影的情形只有約10倍的差異。前述專利文獻1,2中，雖記載習知型之鹼水溶液顯影型之光阻組成物，但希望開發用以使於有機溶劑顯影中之溶解對比差增大的新穎材料。
    欲以負顯影形成孔的情況中，孔之外側係接觸光而產生過剩的酸。當酸擴散至孔的內側時，孔將無法形成開口，因此酸擴散之控制也很重要。
    當曝光部的酸在PEB中蒸發，並附著於未曝光部時，鹼顯影後的正型圖案中，頂端形狀變圓，且造成膜厚減少。利用有機溶劑的負顯影中，可能與前述相反，孔無法形成開口，且孔頂部的開口尺寸變小。
    雖然在光阻膜上塗敷保護膜對於防止PEB中之酸的蒸發且防止負顯影後之孔的開口不佳為有效，但僅此之效果係不足夠。再者，未使用保護膜的光阻膜，較使用保護膜時，更有嚴重的負顯影後之孔之開口不佳的問題。
    將經酸不穩定基取代聚甲基丙烯酸的高分子化合物作為基礎的光阻，雖利用有機溶劑的負顯影之溶解對比高，但如前述有顯影後之膜的蝕刻耐性低的問題。將聚合經酸不穩定基取代羧基的環烯烴之高分子化合物作為基礎的光阻，雖然蝕刻耐性高，但有有機溶劑顯影之溶解對比低的問題。
    本發明為有鑑於以上情事而成者，目的在於提供一種在有機溶劑顯影中，溶解對比大，且蝕刻耐性高的光阻組成物及用以形成孔圖案的圖案形成方法。
    本案發明人為了達成前述目的而進行仔細研究的結果發現：藉由使用包含將具有經酸不穩定基取代的羥基之環烯烴聚合的重複單元之聚合物，可提升有機溶劑顯影中之溶解對比，並增加藉由正負反轉而得到的孔圖案之解析性與感度、及尺寸均勻性、蝕刻耐性。
    因此，本發明提供下述的圖案形成方法及光阻組成物。
    〔1〕
    一種圖案形成方法，其特徵在於：將光阻組成物塗佈在基板上，於加熱處理後以高能量射線將光阻膜曝光，且在加熱處理後使用利用有機溶劑之顯影液使未曝光部溶解，得到曝光部不溶解之負型圖案；該光阻組成物包含含有將具有經酸不穩定基取代的羥基之環烯烴聚合而成的重複單元之高分子化合物、酸產生劑、以及有機溶劑；或者包含含有將具有經酸不穩定基取代的羥基之環烯烴聚合而成的重複單元與鋶鹽之重複單元的高分子化合物、以及有機溶劑。
    〔2〕
    如〔1〕記載之圖案形成方法，其中，該含有將具有經酸不穩定基取代的羥基之環烯烴聚合而成的重複單元之高分子化合物，係具有下述通式(1)所示的重複單元(a1)及/或(a2)；
    (式中，R1~R4、R5~R8各別獨立地為氫原子、氰基、碳數1~6之直鏈狀、分支狀或環狀的烷基、烷氧羰基、或醚基，或者為具有內酯環的基團，R1~R4及R5~R8中之至少一個具有經酸不穩定基取代的羥基。m為0或1。a1、a2為0≦a1<1.0、0≦a2<1.0、0<a1+a2<1.0的範圍。)
    〔3〕
    如〔2〕記載之圖案形成方法，其中，該具有重複單元(a1)及/或(a2)的高分子化合物，更包含來自於具有選自於羥基、氰基、羰基、酯基、醚基、磺酸酯基、內酯環、羧基、羧酸酐基、碳酸酯基、馬來醯亞胺基、磺酸醯胺基中的密合性基之單體的重複單元(b)。
    〔4〕
    如〔2〕或〔3〕記載之圖案形成方法，其中，該具有重複單元(a1)及/或(a2)的高分子化合物，更包含羧基經酸不穩定基取代的下述重複單元(c1)及/或該重複單元(a1)及(a2)以外的羥基經酸不穩定基取代的重複單元(c2)；
    (式中，R10為氫原子或甲基，R為酸不穩定基，Z為單鍵或-C(=O)-O-R11-，R11為碳數1~10之直鏈狀、分支狀或環狀的伸烷基，亦可具有醚基、酯基、內酯環、羥基中之任一者，或者為伸萘基。)
    〔5〕
    如〔1〕至〔4〕中任一項記載之圖案形成方法，其中，該酸產生劑含有產生α位經氟取代之磺酸、醯亞胺酸或甲基化(methide)酸之酸產生劑、以及α位未經氟取代之磺酸或經氟取代或是非取代之羧酸的磺酸酯之兩者。
    〔6〕
    如〔1〕至〔5〕中任一項記載之圖案形成方法，其中，該顯影液係選自於2-辛酮、2-壬酮、2-庚酮、3-庚酮、4-庚酮、2-己酮、3-己酮、二異丁酮、甲基環己酮、苯乙酮、甲基苯乙酮、乙酸丙酯、乙酸丁酯、乙酸異丁酯、乙酸戊酯、乙酸丁烯酯、乙酸異戊酯、乙酸苯酯、甲酸丙酯、甲酸丁酯、甲酸異丁酯、甲酸戊酯、甲酸異戊酯、戊酸甲酯、戊烯酸甲酯、巴豆酸甲酯、巴豆酸乙酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丙酯、乳酸丁酯、乳酸異丁酯、乳酸戊酯、乳酸異戊酯、2-羥基異丁酸甲酯、2-羥基異丁酸乙酯、苯甲酸甲酯、苯甲酸乙酯、乙酸苯甲酯、苯基乙酸甲酯、甲酸苯甲酯、甲酸苯乙酯、3-苯丙酸甲酯、丙酸苯甲酯、苯乙酸乙酯、乙酸2-苯乙酯中之1種以上。
    〔7〕
    如〔1〕至〔6〕中任一項記載之圖案形成方法，其中，利用高能量射線之曝光，係波長193nm之ArF準分子雷射微影、利用電子束的EB微影、或是波長13.5nm之EUV微影。
    〔8〕
    如〔7〕記載之圖案形成方法，其中，於波長193nm之ArF準分子雷射微影中，係使用配置有點狀之位移器圖案的半色調相位移遮罩，在點部分形成顯影後之孔圖案。
    〔9〕
    如〔1〕至〔7〕中任一項記載之圖案形成方法，其係使用半色調相位移遮罩，進行交叉之兩線的2次曝光，於線之交點形成顯影後之孔圖案。
    〔10〕
    如〔1〕至〔7〕中任一項記載之圖案形成方法，其係使用半色調相位移遮罩，於格子狀之位移器格子的交點形成顯影後之孔圖案。
    〔11〕
    如〔8〕、〔9〕或〔10〕中任一項記載之圖案形成方法，其中，點狀圖案、交叉之兩線或格子狀圖案為穿透率3~15%的半色調相位移遮罩。
    〔12〕
    如〔8〕、〔9〕或〔11〕中任一項記載之圖案形成方法，其係使用排列有第1位移器與第2位移器的相位移遮罩，僅於排列有粗位移器處形成孔圖案，該第1位移器係線寬為半節距以下之格子狀位移器，該第2位移器位於第1位移器上且其於晶圓上的尺寸，較第1位移器之線寬粗2~30nm。
    〔13〕
    如〔8〕、〔9〕或〔11〕中任一項記載之圖案形成方法，其係使用排列有第1位移器與點狀圖案之第2位移器的相位移遮罩，僅於排列有粗位移器處形成孔圖案，該第1位移器係線寬為半節距以下之格子狀位移器，該第2位移器位於第1位移器上且其於晶圓上的尺寸，較第1位移器之線寬粗2~100nm。
    〔14〕
    如〔1〕至〔13〕中任一項記載之圖案形成方法，其係將光阻組成物塗佈在基板上，在加熱處理後形成保護膜，以高能量射線將光阻膜曝光，且在加熱處理後使用利用有機溶劑之顯影液使保護膜與未曝光部溶解，得到曝光部不溶解之負型圖案；該光阻組成物包含含有將具有經酸不穩定基取代的羥基之環烯烴聚合而成的重複單元之高分子化合物、酸產生劑、以及有機溶劑；或者包含含有將具有經酸不穩定基取代的羥基之環烯烴聚合而成的重複單元與鋶鹽之重複單元的高分子化合物、以及有機溶劑。
    〔15〕
    如〔14〕記載之圖案形成方法，其中，形成該保護膜的材料，係使用具有1,1,1,3,3,3-六氟-2-丙醇殘基的高分子化合物為基礎並添加具有胺基或胺鹽之化合物的材料、或將在該高分子化合物中共聚合具有胺基或胺鹽之重複單元的材料作為基礎樹脂並溶解於碳數4以上的醇系溶劑、碳數8~12的醚系溶劑、或是該等之混合溶劑的材料。
    〔16〕
    一種負圖案形成用光阻組成物，其特徵在於包含：高分子化合物，可溶解於選自於以下的顯影液：2-辛酮、2-壬酮、2-庚酮、3-庚酮、4-庚酮、2-己酮、3-己酮、二異丁酮、甲基環己酮、苯乙酮、甲基苯乙酮、乙酸丙酯、乙酸丁酯、乙酸異丁酯、乙酸戊酯、乙酸丁烯酯、乙酸異戊酯、乙酸苯酯、甲酸丙酯、甲酸丁酯、甲酸異丁酯、甲酸戊酯、甲酸異戊酯、戊酸甲酯、戊烯酸甲酯、巴豆酸甲酯、巴豆酸乙酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丙酯、乳酸丁酯、乳酸異丁酯、乳酸戊酯、乳酸異戊酯、2-羥基異丁酸甲酯、2-羥基異丁酸乙酯、苯甲酸甲酯、苯甲酸乙酯、乙酸苯甲酯、苯乙酸甲酯、甲酸苯甲酯、甲酸苯乙酯、3-苯丙酸甲酯、丙酸苯甲酯、苯乙酸乙酯、乙酸2-苯乙酯，且具有下述通式(1)所示之具有經酸不穩定基取代之羥基的重複單元(a1)及/或(a2)；酸產生劑；以及有機溶劑；
    (式中，R1~R4、R5~R8各別獨立地為氫原子、氰基、碳數1~6之直鏈狀、分支狀或環狀的烷基、烷氧羰基、或醚基，或者為具有內酯環的基團，R1~R4及R5~R8中之至少一個具有經酸不穩定基取代的羥基。m為0或1。a1、a2為0≦a1<1.0、0≦a2<1.0、0<a1+a2<1.0的範圍。)
    〔17〕
    如〔16〕記載之負圖案形成用光阻組成物，其中，該具有重複單元(a1)及/或(a2)的高分子化合物，更包含來自於具有選自於羥基、氰基、羰基、酯基、醚基、磺酸酯基、內酯環、羧基、羧酸酐基、碳酸酯基、馬來醯亞胺基、磺酸醯胺基中的密合性基之單體的重複單元(b)。
    〔18〕
    如〔16〕或〔17〕記載之負圖案形成用光阻組成物，其中，該具有重複單元(a1)及/或(a2)的高分子化合物，更包含羧基經酸不穩定基取代的下述重複單元(c1)及/或該重複單元(a1)及(a2)以外的羥基經酸不穩定基取代的重複單元(c2)；
    (式中，R10為氫原子或甲基，R為酸不穩定基，Z為單鍵或-C(=O)-O-R11-，R11為碳數1~10之直鏈狀、分支狀或環狀的伸烷基，亦可具有醚基、酯基、內酯環、羥基中之任一者，或者為伸萘基。)
    〔19〕
    如〔16〕至〔18〕中任一項記載之負圖案形成用光阻組成物，其中，該酸產生劑含有產生α位經氟取代之磺酸、醯亞胺酸或甲基化物酸(methide acid)之酸產生劑、以及α位未經氟取代之磺酸或經氟取代或是非取代之羧酸的磺酸酯之兩者。
    含有包含將具有經酸不穩定基取代的羥基之環烯烴聚合而成的重複單元之高分子化合物的光阻膜，在利用有機溶劑的顯影之正負反轉的圖像形成中，具有未曝光部分的溶解性高，曝光部分之溶解性低，且溶解對比高的特徵。使用該光阻膜且使用格子狀圖案的遮罩曝光，藉由進行有機溶劑顯影，可有效地控制細微的孔圖案之尺寸且以高感度形成。
    本發明提出一種使用正負反轉的圖案形成方法，如前述之塗佈光阻組成物，藉由預烤除去不需要的溶劑而形成光阻膜，曝光高能量射線，曝光後加熱，且以有機溶劑顯影液顯影得到負型圖案，該光阻組成物係將包含聚合具有經酸不穩定基取代的羥基之環烯烴而成的重複單元之聚合物作為基礎樹脂。
    一般而言，相較於含羧基的聚合物，含羥基的聚合物對於有機溶劑的溶解性較低。由於利用酸的脫去反應，故相較於產生羧基的聚合物，產生羥基的聚合物因為去保護後之對於有機溶劑的溶解性降低，所以圖案之殘膜變多。再者，由於藉由些許去保護而不溶解於顯影液，故較將羧基經酸不穩定基取代的情況更為高感度。由於藉由去保護而產生羥基的聚合物不溶於鹼，故至今為止，幾乎沒有人研究，但根據本案發明人之研究，證明有機溶劑之顯影中，羥基為最理想的極性轉換基。又，聚合環烯烴的聚合物，有在保護基經去保護的膜殘留的負顯影中亦可保持高蝕刻耐性的特徵。
    將具有經酸不穩定基取代的羥基之環烯烴聚合而成的重複單元，係為下述通式(1)所示的重複單元(a1)及/或(a2)。
    (式中，R1~R4、R5~R8各別獨立地為氫原子、氰基、碳數1~6之直鏈狀、分支狀或環狀的烷基、烷氧羰基、或醚基，或者為具有內酯環的基團，R1~R4及R5~R8中之至少一個具有經酸不穩定基取代的羥基。m為0或1。a1、a2為0≦a1<1.0、0≦a2<1.0、0<a1+a2<1.0的範圍。)
    重複單元(a1)、(a2)，具體而言，可示列如下。在此之R為酸不穩定基。

    本發明之圖案形成方法所使用的光阻組成物，雖將聚合具有經酸不穩定基取代的羥基之環烯烴而成的重複單元(a1)及/或(a2)作為必要單元，但可共聚合來自於具有羥基、氰基、羰基、酯基、醚基、磺酸酯基、內酯環、羧基、羧酸酐基、碳酸酯基、馬來醯亞胺基、磺酸醯胺基之單體的重複單元(b)。重複單元(b)，具體而言，可示列如下。
    [化17]
    [化18]
    [化19]
    本發明的圖案形成方法之適於用以進行正負反轉的有機溶劑顯影之光阻組成物所使用的基礎樹脂，係使用包含前述通式(1)中(a1)及/或(a2)所示的將具有經酸不穩定基取代的羥基之環烯烴聚合而成的重複單元之高分子化合物。
    該情況中，除了重複單元(a1)、(a2)以外，亦可共聚合下述所示之羧基經酸不穩定基取代的重複單元(c1)。
    在此之用以得到重複單元(c1)的單體Mc1，如下述式所示。
    (式中，R10為氫原子或甲基，R為酸不穩定基，Z為單鍵或-C(=O)-O-R11-，R11為碳數1~10之直鏈狀、分支狀或環狀的伸烷基，亦可具有醚基、酯基、內酯環、羥基中之任一者，或者為伸萘基。)
    改變用以得到重複單元(c1)的單體Mc1之Z的結構，具體而言可示列如下。在此之R10為氫原子或甲基，R為酸不穩定基。
    成為本發明之圖案形成方法所使用的光阻組成物之基礎的高分子化合物，雖必需具有聚合通式(1)所示之羥基經酸不穩定基取代的之環烯烴而成的重複單元(a1)及/或(a2)，但亦可共聚合除此以外之羥基經酸不穩定基取代的重複單元(c2)。用以得到重複單元(c2)的單體，具體而言可示列如下。在此之R10為氫原子或甲基，R為酸不穩定基。
    通式(1)中之重複單元(a1)、(a2)、及重複單元(c1)、(c2)中，R所示的酸不穩定基可選定種種，可相同亦可為不同，但尤可舉出下述式(AL-10)所示的基、下述式(AL-11)所表示的縮醛基、下述式(AL-12)所示的第三烷基、碳數4~20的側氧烷基等。

    式(AL-10)、(AL-11)中，R51、R54為碳數1~40，特別是碳數1~20之直鏈狀、分支狀或環狀的烷基等之1價烴基，且可包含氧、硫、氮、氟等之雜原子。R52、R53為氫原子、或是碳數1~20之直鏈狀、分支狀或環狀的烷基等之1價烴基，且可包含氧、硫、氮、氟等之雜原子，a5為0~10的整數，特別是1~5的整數。R52與R53、R52與R54、或是R53與R54可各別鍵結，並與該等所鍵結的碳原子、或碳原子與氧原子一起形成碳數3~20的環，特別是4~16的環，且特別是形成脂環。
    R55、R56、R57各別為碳數1~20之直鏈狀、分支狀或環狀的烷基等之1價烴基，且可包含氧、硫、氮、氟等之雜原子。或者，R55與R56、R55與R57、或是R56與R57可各別鍵結，並與該等所鍵結的碳原子一起形成碳數3~20的環，特別是4~16的環，且特別是形成脂環。
    具體地示列出式(AL-10)所示之基團的話，可舉出第三丁氧羰基、第三丁氧羰甲基、第三戊氧羰基、第三戊氧羰甲基、1-乙氧基乙氧羰甲基、2-四氫吡喃氧基羰甲基、2-四氫呋喃氧基羰甲基等、或是以下述通式(AL-10)-1~(AL-10)-10所示之取代基。

    式(AL-10)-1~(AL-10)-10中，R58表示相同或異種的碳數1~8之直鏈狀、分支狀或環狀的烷基、碳數6~20之芳基、或是碳數7~20之芳烷基。R59表示氫原子、或是碳數1~20之直鏈狀、分支狀或環狀的烷基。R60表示碳數6~20之芳基、或是碳數7~20之芳烷基。a5係如前述。
    將以該式(AL-11)所示之縮醛化合物示列於(AL-11)-1~(AL-11)-44。

    又，酸不穩定基，可舉出以下述通式(AL-11a)或是(AL-11b)表示的基團，藉由該酸不穩定基，基礎樹脂亦可於分子間或分子內交聯。

    前述式中，R61、R62表示氫原子、或是碳數1~8之直鏈狀、分支狀或環狀的烷基。或者，R61與R62可相互鍵結，並與該等所鍵結的碳原子一起形成環，而形成環的情況中，R61、R62表示碳數1~8之直鏈狀或是分支狀的伸烷基。R63為碳數1~10之直鏈狀、分支狀或環狀的伸烷基，b5、d5為0或1~10的整數，較佳為0或是1~5的整數，c5為1~7的整數。A表示(c5+1)價之碳數1~50之脂肪族或是脂環式飽和烴基、芳香族烴基、或是雜環基，而該等基團之間可插入氧、硫、氮等之雜原子，或是可藉由羥基、羧基、羰基或氟原子取代鍵結於該碳原子的一部分氫原子。B表示-CO-O-、-NHCO-O-、或-NHCONH-。
    該情況中，較佳為：A為2~4價之碳數1~20之直鏈狀、分支狀或環狀的伸烷基、烷三基、烷四基、碳數6~30之伸芳基，而該等基團之間可插入氧、硫、氮等之雜原子，或是可藉由羥基、羧基、醯基或鹵原子取代鍵結於該碳原子的一部分氫原子。又，c5較佳為1~3的整數。
    通式(AL-11a)、(AL-11b)所示的交聯型縮醛基，具體而言可舉出下述式(AL-11)-60~(AL-11)-67者。




    其次，前述式(AL-12)所示之第三烷基，可舉出第三丁基、三乙基香芹基(triethyl carvyl)、1-乙基降莰基、1-甲基環己基、1-乙基環戊基、第三戊基等、或是以下述通式(AL-12)-1~(AL-12)-16表示之基團。
    前述式中，R64表示相同或異種的碳數1~8之直鏈狀、分支狀或環狀的烷基、碳數6~20之芳基、或是碳數7~20之芳烷基，且R64之間可鍵結，並與該等所鍵結的碳原子一起形成碳數3~20的環，較佳為碳數4~16的環，特別是形成脂環。R65、R67表示氫原子、或碳數1~20之直鏈狀、分支狀或環狀的烷基。R66表示碳數6~20之芳基、或碳數7~20之芳烷基。
    再者，酸不穩定基，可舉出示於下述式(AL-12)-17、(AL-12)-18的基團，而藉由包含作為2價以上的伸烷基、或伸芳基之R68的該酸不穩定基，基礎樹脂可於分子內或分子間交聯。式(AL-12)-17、(AL-12)-18的R64係與前述相同，R68表示單鍵、碳數1~20之直鏈狀、分支狀或環狀的伸烷基、或伸芳基，且可包含氧原子、硫原子、氮原子等之雜原子。b6為0~3的整數。

    再者，前述之R64、R65、R66、R67可具有氧、氮、硫等之雜原子，具體而言，可示於下述式(AL-13)-1~(AL-13)-7。
    再者，亦可共聚合以下述通式所示之鋶鹽(d1)~(d3)的重複單元中之任一者。
    (式中，R20、R24、R28為氫原子或甲基，R21為單鍵、伸苯基、-O-R33-、或是-C(=O)-Y-R33-。Y為氧原子或是NH，R33為碳數1~6之直鏈狀、分支狀或環狀的伸烷基、伸烯基或是伸苯基，且可包含羰基(-CO-)、酯基(-COO-)、醚基(-O-)或羥基。R22、R23、R25、R26、R27、R29、R30、R31為相同或異種的碳數1~12之直鏈狀、分支狀或環狀的烷基，且可包含羰基、酯基或醚基，或是表示碳數6~12之芳基、碳數7~20之芳烷基或苯硫基。Z0為單鍵、亞甲基、伸乙基、伸苯基、被氟化的伸苯基、-O-R32-、或是-C(=O)-Z1-R32-。Z1為氧原子或NH，R32為碳數1~6之直鏈狀、分支狀或環狀的伸烷基、伸烯基或伸苯基，且可包含羰基、酯基、醚基或羥基。M-表示非親核性相對離子。範圍係0≦d1≦0.3、0≦d2≦0.3、0≦d3≦0.3、0≦d1+d2+d3≦0.3。)
    該重複單元(a1)、(a2)、(b)、(c1)、(c2)、(d1)、(d2)、(d3)中，重複單元的比例為0≦a1<1.0、0≦a2<1.0、0<a1+a2<1.0、0<b<1.0、0≦c1<1.0、0≦c2<1.0、0≦d1≦0.3、0≦d2≦0.3、0≦d3≦0.3、0≦d1+d2+d3≦0.3，而較佳為0≦a1≦0.9、0≦a2≦0.9、0.1≦a1+a2≦0.9、0.1≦b≦0.9、0≦c1≦0.7、0≦c2≦0.7、0≦d1<0.15、0≦d2<0.15、0≦d3<0.15、0≦d1+d2+d3≦0.15之範圍。再者，a1+a2+b+c1+c2+d1+d2+d3=1。
    成為本發明之圖案形成方法所使用的光阻組成物之基礎樹脂的高分子化合物，使用四氫呋喃(THF)溶劑之利用凝膠滲透層析(GPC)的聚苯乙烯換算重量平均分子量，較佳為1,000~500,000，更佳為2,000~30,000。當重量平均分子量過小時，在有機溶劑顯影時易造成膜厚減少，而過大時，對於有機溶劑的溶解性下降，在圖案形成後有易產生拖尾現象的可能性。
    再者，成為本發明之圖案形成方法所使用的光阻組成物之基礎樹脂的高分子化合物中，分子量分佈(Mw/Mn)廣時，由於存在低分子量或高分子量的聚合物，故曝光後有在圖案上看到異物，圖案形狀變差的可能。因此，由於伴隨細微化圖案規則，如前述之分子量、分子量分佈的影響容易變大，故要得到適合用於細微的圖案尺寸之光阻組成物，使用之多成分共聚合體的分子量分佈較佳為1.0~2.0，而更佳為1.0~1.5且為窄分散。
    而且，可將組成比例、分子量分佈、或分子量不同之兩種以上的聚合物混摻，並可與未含經酸不穩定基取代之羥基的聚合物混摻。具體而言，係為具有經酸不穩定基取代之羧基的習知型聚甲基丙烯酸酯、聚降冰片烯或聚環烯烴-馬來酸酐的樹脂。可進行與具有經酸不穩定基取代之羥基的甲基丙烯酸聚合物之混摻。又，亦可與具有重複單元(c2)所表示之經酸不穩定基取代之羥基的甲基丙烯酸酯混摻。
    欲合成該等高分子化合物，有一種方法：將用以得到重複單元(a1)、(a2)、(b)、(c1)、(c2)、(d1)、(d2)、(d3)之具有不飽和鍵的單體加入有機溶劑中，並添加自由基起始劑或烷基鋰、鉑、鈀、釕、鈦、鋯、鉻、鎳、鎢、銅等之金屬催化劑進行加熱聚合的方法，藉此方法而可得到高分子化合物。在聚合時使用的有機溶劑，可示列出甲苯、苯、四氫呋喃、二乙醚、二氧陸圜等。自由基聚合起始劑，可示列出2,2’-偶氮雙異丁腈(AIBN)、2,2’-偶氮雙(2,4-二甲基戊腈)、二甲基2,2-偶氮雙(2-丙酸甲酯)、過氧化苯甲醯、過氧化月桂醯等，且較佳為加熱至50~80℃而可聚合。反應時間為2~100小時，較佳為5~20小時。酸不穩定基，可直接使用導入單體者，亦可聚合後受保護或部分受保護。
    再者，欲使高分子化合物形成為如前述的負型，必需有聚合重複單元(a1)或(a2)之羥基經酸不穩定基取代的環烯烴而成的重複單元，而未必需要(c1)所示的羧基經酸不穩定基取代之甲基丙烯酸酯的重複單元或(c2)所示的羥基經酸不穩定基取代的甲基丙烯酸酯。將具有聚合重複單元(a1)及(a2)之羥基經酸不穩定基取代之環烯烴而成的重複單元之高分子化合物作為基礎的光阻之情況中，曝光部分未溶解於鹼顯影液或是即使溶解也僅有些微的膜厚減少，因此無法藉由鹼顯影形成正型的圖案。然而，有機溶劑顯影中，相較於使用將羧基經酸不穩定基取代之環烯烴聚合而成的高分子化合物之情況，未曝光部的溶解速度較高，曝光部的溶解速度較低，且可得到高溶解對比。
    本發明之圖案形成方法所使用的光阻組成物，可包含有機溶劑、感應高能量射線而產生酸的化合物(酸產生劑)，且視需要可包含溶解控制劑、鹼性化合物、界面活性劑、乙炔醇、其他成分。
    本發明之圖案形成方法所使用的光阻組成物，特別是作為化學放大正型光阻組成物，為了令其產生作用而可包含酸產生劑，例如，可含有感應活性光線或放射線而產生酸的化合物(光酸產生劑)。該情況中，光酸產生劑的摻合量，相對於基礎樹脂100質量份，定為0.1~30質量份較為理想，而更佳為0.5~20質量份。光酸產生劑的成分，只要是藉由高能量射線而產生酸的化合物均可。理想的光酸產生劑，有鋶鹽、錪鹽、磺醯基重氮甲烷、N-磺醯氧基醯亞胺、肟-O-磺酸鹽型酸產生劑等。該等可單獨使用或混合2種以上而使用。
    酸產生劑的具體例，係記載於日本特開2008-111103號公報之段落[0122]~[0142]。在共聚合選自於重複單元(d1)、(d2)、(d3)之聚合性的酸產生劑時，不一定要添加酸產生劑。
    有機溶劑的具體例，可舉出記載於日本特開2008-111103號公報之段落[0144]~[0145]的環己酮、甲基-2-正戊酮等之酮類、3-甲氧基丁醇、3-甲基-3-甲氧基丁醇、1-甲氧基-2-丙醇、1-乙氧基-2-丙醇等之醇類、丙二醇單甲醚、乙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、乙二醇單乙醚、丙二醇二甲醚、二乙二醇二甲醚等之醚類、丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、乳酸乙酯、丙酮酸乙酯、乙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙酸第三丁酯、丙酸第三丁酯、丙二醇單第三丁醚乙酸酯等之酯類、γ-丁內酯等之內酯類及其混合溶劑。使用縮醛系之酸不穩定基時，為了加速縮醛之去保護反應，亦可加入高沸點的醇系溶劑，具體而言為二乙二醇、丙二醇、甘油、1,4-丁二醇、1,3-丁二醇等。鹼性化合物，可舉出記載於段落[0146]~[0164]之1級、2級、3級的胺化合物，特別是具有羥基、醚基、酯基、內酯環、氰基、磺酸酯基的胺化合物、或是日本專利第3790649號公報所記載之具有胺基甲酸酯基的化合物。
    再者，亦可將記載於日本特開2008-158339號公報之α位未被氟化的磺酸、以及羧酸的鋶鹽、錪鹽、銨鹽等之鎓鹽作為淬滅劑使用。為了將羧酸酯之酸不穩定基去保護，需要α位被氟化的磺酸、醯亞胺酸、甲基化物酸，而藉由與α位未被氟化的鎓鹽之鹽交換，係放出α位未被氟化的磺酸、以及羧酸。由於α位未被氟化的磺酸、以及羧酸不會引起去保護反應，故作為淬滅劑而產生作用。特別是因為α位未被氟化的磺酸、以及羧酸的鋶鹽、錪鹽有光降解性，故光強度強的部分之淬滅能下降，同時α位被氟化的磺酸、醯亞胺酸、甲基化物酸的濃度增加。藉由前述而提升曝光部分之對比。利用有機溶劑的負型之形成中，提升曝光部之對比的話，負圖案的矩形性將提高。α位未被氟化的磺酸、以及羧酸的鋶鹽、錪鹽銨鹽等之鎓鹽抑制α位被氟化的磺酸、醯亞胺酸、甲基化物酸之擴散的效果高。前述係源於因為交換後之鎓鹽的分子量大，故變得難以移動。以負顯影形成孔圖案時，因為酸之產生區域非常多，故酸由曝光部分擴散至未曝光部分之控制十分重要。因此，根據酸擴散之控制的觀點，α位未被氟化的磺酸、以及羧酸的鋶鹽、錪鹽銨鹽等之鎓鹽、或藉由酸而產生胺化合物的胺基甲酸酯化合物之添加很重要。界面活性劑，可使用記載於段落[0165]~[0166]者；溶解控制劑，可使用記載於日本特開2008-122932號公報之段落[0155]~[0178]者；乙炔醇類，可使用記載於段落[0179]~[0182]者。
    亦可添加用以提高旋轉塗佈後的光阻表面之撥水性的高分子化合物。該添加劑，可用於未使用表塗層的浸潤微影。如前述之添加劑，具有特定結構的1,1,1,3,3,3-六氟-2-丙醇殘基，且示列於日本特開2007-297590號公報、日本特開2008-111103號公報。添加於光阻組成物的撥水性提升劑，需要溶解於顯影液的有機溶劑。前述特定之具有1,1,1,3,3,3-六氟-2-丙醇殘基的撥水性提升劑，對於顯影液的溶解性佳。作為撥水性的添加劑，將胺基或胺鹽作為重複單元共聚合的高分子化合物，由於可防止PEB中的酸之蒸發，故防止顯影後的孔圖案之開口不佳的效果高。撥水性提升劑的添加量，相對於光阻組成物的基礎樹脂100質量份，為0.1~20質量份，較佳為0.5~10質量份。
    再者，有機溶劑的摻合量，相對於基礎樹脂100質量份，定為100~10,000質量份較為理想，而最佳為300~8,000質量份。又，鹼性化合物的摻合量，相對於基礎樹脂100質量份，定為0.0001~30質量份較為理想，而最佳為0.001~20質量份。
    前述正型光阻組成物，如前述，在基板上塗佈而形成光阻膜，於加熱處理後將高能量射線照射於該光阻膜的所用部分，並進行曝光，在加熱處理後使用有機溶劑的顯影液，將該光阻膜之未曝光部分溶解，形成曝光部分作為膜殘留之孔或溝槽等之負型光阻圖案。
    涉及本發明的圖案成形方法，係示於圖1。該情況中，如圖1所示，本發明中，在形成於基板10上的被加工基板20，直接或隔著中間插入層30，將正型光阻組成物塗佈於基板上而形成光阻膜40。光阻膜的厚度為10~1,000nm較為理想，而最佳為20~500nm。該光阻膜，係於曝光前進行加熱(預烤)，而該條件為在60~180℃實施，較佳為在70~150℃實施10~300秒鐘，最佳為實施15~200秒鐘。
    再者，作為基板10，一般使用矽基板。被加工基板20，可舉出SiO2、SiN、SiON、SiOC、p-Si、α-Si、TiN、WSi、BPSG、SOG、Cr、CrO、CrON、MoSi、低介電膜及其蝕刻阻止膜。中間揷入層30，可舉出SiO2、SiN、SiON、p-Si等之硬遮罩、利用碳膜之下層膜與含矽中間膜、有機抗反射膜等。
    其次，如圖1(B)所示之進行曝光50。在此之曝光可舉出波長140~250nm的高能量射線、波長13.5nm的EUV、電子束，但其中尤以利用ArF準分子雷射的193nm之曝光最適合使用。曝光可於大氣中或氮氣流中之乾環境，亦可為水中之浸潤曝光。ArF浸潤微影中，係使用作為浸潤溶劑之純水、或是烷等之折射係數為1以上，且於曝光波長為高透明的液體。浸潤微影中，係於預烤後的光阻膜與投影透鏡之間，插入純水或其他液體。藉由前述而可設計NA為1.0以上的透鏡，並可形成更細微的圖案。浸潤微影為用以將ArF微影應用延長至45nm節點為止之重要的技術。浸潤曝光的情況中，可進行用以去除殘留在光阻膜上的殘餘水滴之曝光後的純水清洗(後浸泡)，而為了防止來自光阻膜的溶離物，提高膜表面的滑水性，可於預烤後的光阻膜上形成保護膜。形成用於浸潤微影之光阻保護膜的材料，例如，將不溶於水而溶於鹼性顯影液之具有1,1,1,3,3,3-六氟-2-丙醇殘基的高分子化合物作為基礎，溶解於碳數4以上的醇系溶劑、碳數8~12的醚系溶劑、或是該等之混合溶劑的材料較為理想。該情況中，保護膜形成用組成物，可舉出由具有1,1,1,3,3,3-六氟-2-丙醇殘基的重複單元等之單體而得者。保護膜需溶解於有機溶劑的顯影液，而由具有1,1,1,3,3,3-六氟-2-丙醇殘基的重複單元所組成的高分子化合物係溶解於該有機溶劑顯影液。特別是對於日本特開2007-25634號公報、日本特開2008-3569號公報所示列之具有1,1,1,3,3,3-六氟-2-丙醇殘基的保護膜材料之有機溶劑顯影液的溶解性高。
    在保護膜形成用組成物摻合胺化合物或胺鹽、或是使用將具有胺基或胺鹽之重複單元共聚合的高分子化合物，係抑制由光阻之曝光部產生的酸朝未曝光部分的擴散，且防止孔之開口不佳的效果高。添加胺化合物的保護膜材料，可使用日本特開2008-3569號公報所記載的材料；將胺基或胺鹽共聚合的保護膜材料，可使用日本特開2007-316448號公報所記載的材料。胺化合物、胺鹽，可自作為該光阻添加用的鹼性化合物之詳述者中選定。胺化合物、胺鹽的摻合量，相對於基礎樹脂100質量份，較佳為0.01~10質量份，而更佳為0.02~8質量份。
    在光阻膜形成後，可藉由進行純水清洗(後浸泡)而自光阻膜表面萃取酸產生劑等、或是進行粒子之沖洗，且亦可在曝光後進行用以除去殘留於膜上的水之清洗(後浸泡)。在PEB中自曝光部蒸發的酸係附著於未曝光部，而將未曝光部分之表面的保護基去保護時，顯影後的孔之表面有橋接並堵塞的可能性。特別是負顯影之孔的外側，係照射光而產生酸。在PEB中蒸發孔之外側的酸，並黏附於孔之內側時，將造成孔無法形成開口。為了防止酸之蒸發，且防止孔之開口不佳，應用保護膜係十分有效。再者，添加胺化合物或胺鹽的保護膜，可有效地防止酸之蒸發。另一方面，使用添加羧基或磺酸基等之酸化合物、或是將共聚合具有羧基或磺酸基之單體的聚合物作為基礎的保護膜時，將造成孔之未開口現象，故使用此種保護膜較不理想。
    如前述，本發明中，將包含高分子化合物、酸產生劑、有機溶劑的光阻組成物塗佈於基板上，在加熱處理後形成保護膜，以高能量射線曝光上述光阻膜，並於加熱處理後使用利用有機溶劑的顯影液，將保護膜與未曝光部溶解，得到曝光部不溶解的負型圖案較為理想，其中，該高分子化合物包含具有經酸不穩定基取代之羥基的重複單元，而該情況中，形成保護膜的材料，較佳為使用具有1,1,1,3,3,3-六氟-2-丙醇殘基的高分子化合物為基礎並添加具有胺基或胺鹽之化合物的材料、或是將在該高分子化合物中共聚合具有胺基或胺鹽之重複單元的材料作為基礎並溶解於碳數4以上的醇系溶劑、碳數8~12的醚系溶劑、或是該等之混合溶劑的材料。
    具有1,1,1,3,3,3-六氟-2-丙醇殘基的重複單元，可舉出以[化17]、[化18]、[化19]表示的單體中之羥基未經取代的單體之聚合體。
    具有胺基的化合物，可使用添加於光阻組成物之記載於日本特開2008-111103號公報之段落[0146]~[0164]的胺化合物。
    具有胺鹽的化合物，可使用該胺化合物之羧酸鹽或磺酸鹽。
    碳數4以上的醇系溶劑，可舉出1-丁醇、2-丁醇、異丁醇、第三丁醇、1-戊醇、2-戊醇、3-戊醇、第三戊醇、新戊醇、2-甲基-1-丁醇、3-甲基-1-丁醇、3-甲基-3-戊醇、環戊醇、1-己醇、2-己醇、3-己醇、2,3-二甲基-2-丁醇、3,3-二甲基-1-丁醇、3,3-二甲基-2-丁醇、2-乙基-1-丁醇、2-甲基-1-戊醇、2-甲基-2-戊醇、2-甲基-3-戊醇、3-甲基-1-戊醇、3-甲基-2-戊醇、3-甲基-3-戊醇、4-甲基-1-戊醇、4-甲基-2-戊醇、4-甲基-3-戊醇、環己醇、1-辛醇。
    碳數8~12的醚系溶劑，可舉出二正丁醚、二異丁醚、二第二丁醚、二正戊醚、二異戊醚、二第二戊醚、二第三戊醚、二正己醚。
    曝光之曝光量為1~200mJ/cm2左右較佳，更佳為使其為10~100mJ/cm2左右而曝光。接著，在熱板上於60~150℃曝光後烘烤(PEB)1~5分鐘，較佳為80~120℃、1~3分鐘。
    再者，如圖1(C)所示，使用有機溶劑的顯影液，於0.1~3分鐘，較佳為0.5~2分鐘，利用浸漬(dip)法、浸置(puddle)法、噴塗(spray)法等之常法，藉由進行顯影而形成未曝光部分溶解的負圖案於基板上。此時之顯影液，尤能適用2-辛酮、2-壬酮、2-庚酮、3-庚酮、4-庚酮、2-己酮、3-己酮、二異丁酮、甲基環己酮、苯乙酮、甲基苯乙酮等之酮類、乙酸丙酯、乙酸丁酯、乙酸異丁酯、乙酸戊酯、乙酸丁烯酯、乙酸異戊酯、乙酸苯酯、甲酸丙酯、甲酸丁酯、甲酸異丁酯、甲酸戊酯、甲酸異戊酯、戊酸甲酯、戊烯酸甲酯、巴豆酸甲酯、巴豆酸乙酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丙酯、乳酸丁酯、乳酸異丁酯、乳酸戊酯、乳酸異戊酯、2-羥基異丁酸甲酯、2-羥基異丁酸乙酯、苯甲酸甲酯、苯甲酸乙酯、乙酸苯甲酯、苯乙酸甲酯、甲酸苯甲酯、甲酸苯乙酯、3-苯丙酸甲酯、丙酸苯甲酯、苯乙酸乙酯、乙酸2-苯乙酯等之酯類。
    在顯影結束時，進行清洗。作為清洗液，較佳為與顯影液混溶，不會溶解光阻膜的溶劑。如前述的溶劑，宜使用碳數3~10之醇、碳數8~12之醚化合物、碳數6~12之烷、烯、炔、芳香族系的溶劑。
    具體而言，碳數6~12的烷，可舉出己烷、庚烷、辛烷、壬烷、癸烷、十一烷、十二烷、甲基環戊烷、二甲基環戊烷、環己烷、甲基環己烷、二甲基環己烷、環庚烷、環辛烷、環壬烷等。碳數6~12的烯，可舉出己烯、庚烯、辛烯、環己烯、甲基環己烯、二甲基環己烯、環庚烯、環辛烯等；碳數6~12的炔，可舉出己炔、庚炔、辛炔等；碳數3~10的醇，可舉出正丙醇、異丙醇、1-丁醇、2-丁醇、異丁醇、第三丁醇、1-戊醇、2-戊醇、3-戊醇、第三戊醇、新戊醇、2-甲基-1-丁醇、3-甲基-1-丁醇、3-甲基-3-戊醇、環戊醇、1-己醇、2-己醇、3-己醇、2,3-二甲基-2-丁醇、3,3-二甲基-1-丁醇、3,3-二甲基-2-丁醇、2-乙基-1-丁醇、2-甲基-1-戊醇、2-甲基-2-戊醇、2-甲基-3-戊醇、3-甲基-1-戊醇、3-甲基-2-戊醇、3-甲基-3-戊醇、4-甲基-1-戊醇、4-甲基-2-戊醇、4-甲基-3-戊醇、環己醇、1-辛醇等。
    碳數8~12的醚化合物，可舉出選自於二正丁醚、二異丁醚、二第二丁醚、二正戊醚、二異戊醚、二第二戊醚、二第三戊醚、二正己醚之1種以上的溶劑。
    除前述之溶劑以外，亦可使用甲苯、二甲苯、乙苯、異丙苯、第三丁苯、均三甲苯等之芳香族系的溶劑。
    藉由負型顯影形成孔圖案的情況，進行利用X、Y方向之2次的線圖案之偶極照射的曝光，可使用對比最高的光。除偶極照射以外，再加上s偏光照射的話，更可提升對比。
    在此之本發明中，使用半色調相位移遮罩，在格子狀之位移器格子的交點形成顯影後的孔圖案較為理想，而格子狀圖案為穿透率3~15%的半色調相位移遮罩較為理想。該情況中，較佳為：使用排列有第1位移器與第2位移器的相位移遮罩，其中，該第1位移器係線寬為半節距以下之格子狀位移器，該第2位移器位於第1位移器上且其於晶圓上的尺寸，較第1位移器之線寬粗2~30nm，並且僅於排列有粗的位移器處形成孔圖案、或是使用排列有第1位移器與點狀圖案之第2位移器的相位移遮罩，其中，該第1位移器係線寬為半節距以下之格子狀位移器，該第2位移器位於第1位移器上且其於晶圓上的尺寸，較第1位移器之線寬粗2~100nm，並且僅於排列有粗的位移器處形成孔圖案。
    以下更詳細敘述。
    圖2係表示採使用波長193nm之ArF準分子雷射的NA1.3透鏡、偶極照射、6%半色調相位移遮罩、s偏光之節距90nm、線尺寸45nm之X方向線的光學像。
    圖3係表示採使用波長193nm之ArF準分子雷射的NA1.3透鏡、偶極照射、6%半色調相位移遮罩、s偏光之節距90nm、線尺寸45nm之Y方向線的光學像。顏色深處為遮光部分，白處為光強的區域，白與黑之對比差分明，表示係存在特別強的遮光部分。
    圖4係為在Y方向線重疊X方向線之光學像的對比像。X與Y的線之組合被認為可使格子狀的像完成，但並非如此，光弱之黑色部分的圖案為圓形。圓形的尺寸過大時，容易以菱形形狀與隔壁的圖案連接，而圓的尺寸越小真圓度越高，並表示係存在被強力遮光的小圓。
    將X、Y方向的線組合2次之偶極照射與偏光照射的曝光，係為形成最高對比之光的方法，但藉由2次的曝光與其之間的遮罩之交換而有處理量大幅下降的缺點。為了一邊交換遮罩，一邊連續進行2次的曝光，需要設置2個曝光設備側之遮罩的平台，但目前的曝光設備之遮罩的平台係為1個。該情況中，並非每曝光1片便交換遮罩，而將放入FOUP(晶圓盒)的25片晶圓連續進行X方向線之曝光，接著交換遮罩，將同樣的25片晶圓連續進行Y方向線之曝光者，可提高處理量。然而，仍產生下述問題：25片晶圓的第一片晶圓下次受到曝光之前的時間變長，造成環境影響使顯影後之光阻尺寸或形狀產生變化。為了阻擋至第2次曝光前之晶圓準備中的環境之影響，在光阻的上層塗敷保護膜為有效。
    為了藉由1片遮罩而完成曝光，有人提出使用格子狀之圖案的遮罩，以X、Y方向之各別的偶極照射予以2次曝光的方法(前述非專利文獻1)。該方法中，相較於前述之使用2片遮罩的方法，光學對比稍微下降，但由於可使用1片的遮罩，故處理量會提高。前述非專利文獻1中，使用格子狀之圖案的遮罩，藉由X方向的偶極照射而形成X方向線，並藉由光照射而令X方向線不溶解化，且於其上方再次塗佈光阻，藉由Y方向的偶極照射而形成Y方向線，在X方向線與Y方向線的空隙之間予以形成孔圖案。該方法中，藉由1片遮罩即可完成，但為了在2次的曝光之間加入第1次的光阻圖案之不溶解化處理與第2次的光阻塗佈及顯影程序，於2次的曝光期間使晶圓離開曝光平台，此時產生對準誤差(alignment error)變大的問題。為了將2次曝光間之對準誤差減至最小，需要使晶圓不離開曝光平台，連續進行2次的曝光。使用格子狀之圖案的遮罩，用以形成X方向(水平方向)線之偶極的孔徑形狀係示於圖21，而用以形成Y方向(垂直方向)線之偶極的孔徑形狀係示於圖22。由於除偶極照射以外，再加上s偏光照射的話，更可提升對比，故較宜使用。將使用格子狀的遮罩形成X方向線與Y方向線之2次的曝光重複實施，並進行負型之顯影的話，係形成孔圖案。
    使用格子狀的遮罩，以1次的曝光形成孔圖案時，係使用示於圖23之孔徑形狀的四極照射(交叉極照射)。將前述組合X-Y偏光照射或是圓形偏光的方位角(Azimuthally)偏光照射而提升對比。
    本發明之孔圖案的形成方法中，進行曝光2次時，改變第1次之曝光與第2次之曝光的照射及遮罩並進行曝光的方法，可以最高對比形成尺寸均勻性佳的細微圖案。使用於第1次之曝光與第2次之曝光的遮罩，係於第1次之線圖案與第2次之線交叉的交點，形成顯影後之光阻的孔圖案。第1次之線與第2次之線的角度呈垂直較為理想，但亦可為90度以外的角度，而第1次之線的尺寸與第2次之線的尺寸或節距可相同亦可不同。使用下述遮罩：在1片遮罩中含有第1次之線以及與其位置不同的第2次之線，亦可將第1次之曝光與第2次之曝光連續曝光，但該情況可曝光的最大面積係變成一半。但是進行連續曝光的情況，可將對準誤差減至最小。顯然於1次的曝光中，較2次的連續曝光更可將對準誤差縮小。
    使用1片遮罩，為了不用縮小曝光面積而進行2次的曝光，作為遮罩圖案，有使用示於圖5之格子狀的圖案之情況、使用示於圖7之點狀圖案之情況、示於圖19之組合點狀圖案與格子狀圖案之情況。
    使用格子狀的圖案者，最能提升光的對比，但因為光的強度下降而有光阻之感度下降的缺點。另一方面，使用點狀圖案的方法，其光的對比下降，但有光阻之感度提高的優點。
    孔圖案排列於水平與垂直方向時，使用前述之照射與遮罩圖案，而除此以外的角度，例如排列於45度的方向時，係組合排列於45度之圖案的遮罩與偶極照射或是交叉極照射。
    進行2次的曝光時，係進行將提高X方向線的對比之偶極照射與偏光照射組合的曝光，以及將提高Y方向線的對比之偶極照射與偏光照射組合的2次曝光。使用1片遮罩，且強調X方向與Y方向之對比之連續2次的曝光，可藉由目前市售的掃描器而實施。
    使用格子狀之圖案的遮罩，並組合X、Y之偏光照射與交叉極照射的方法，雖然相較於2次之偶極照射的曝光，光的對比稍微下降，但可藉由1次的曝光而形成孔圖案，且預期提升相當的處理量，並避免利用2次曝光之對準偏移的問題。根據使用如前述之遮罩與照射，可以實用的成本形成40nm級的孔圖案。
    示於圖5之配置格子狀之圖案的遮罩中，格子的交點被強力遮光，且如圖6所示，顯現遮光性非常高的黑點。圖6為採NA1.3透鏡、交叉極照射、6%半色調相位移遮罩、方位角偏光照射之節距90nm、寬30nm之格子狀線圖案的光學像。使用如前述之圖案的遮罩進行曝光，伴隨正負反轉，藉由進行利用有機溶劑之顯影而可形成細微的孔圖案。
    示於圖7之採NA1.3透鏡、交叉極照射、6%半色調相位移遮罩、方位角偏光照射之節距90nm、配置一邊的寬為60nm之正方形點狀圖案的遮罩之光學像對比係示於圖8。該情況中，相較於圖6，遮光部分強之圓的面積變小，雖然相較於格子狀圖案的遮罩，對比變低，但因為存在黑色的遮光部分，故可形成孔圖案。
    節距或位置任意排列之細微的孔圖案之形成有其困難。密集圖案，藉由在偶極、交叉極等之斜入射照射組合相位移遮罩與偏光的超解析技術，可提升對比，但孤立圖案的對比幾乎沒有提高。
    相對於密集的重複圖案，使用超解析技術時，與孤立圖案之疏密(接近性)偏差係成為其問題。使用越強的超解析技術，越能提高密集圖案的解析力，但因為孤立圖案的解析力不會改變，故疏密偏差會擴大。伴隨細微化，孔圖案之疏密偏差的增加係為嚴重的問題。為了抑制疏密偏差，一般而言，係進行附加偏差於遮罩圖案的尺寸。由於疏密偏差亦根據光阻組成物的特性，亦即，根據溶解對比或酸擴散而改變，故遮罩的疏密偏差會依每種光阻組成物之種類改變。使用依每種光阻組成物之種類改變疏密偏差的遮罩，係增加遮罩製作的負擔。因此，有人提出藉由以很強的超解析照射，僅解析密集孔圖案，在圖案上塗佈不溶解第1次的正型光阻圖案之醇溶劑的負型光阻膜，將不需要的孔部分曝光、顯影而使其堵塞，製作密集圖案與孤立圖案之兩者的方法(Pack and unpack；PAU法)(Proc.SPIE Vol.5753 p171(2005))。該方法的問題點，可舉出第1次的曝光與第2次的曝光之位置偏移，且文獻的作者亦有指出此點。又，於第2次的顯影未被堵塞的孔圖案係予以2次顯影，且根據前述亦可舉出尺寸改變的問題。
    為了將任意節距的孔圖案以正負反轉的有機溶劑顯影形成，係使用將格子狀的圖案排列於整面，僅在形成孔處將格子之寬變粗的遮罩。
    在採節距90nm，20nm寬的格子狀圖案上，如圖9所示之於欲形成點的部分配置十字的粗交叉線。顏色黑之部分為半色調的位移器部分。在孤立性之處配置較粗的線(圖9中為寬40nm)，且在密集部分配置寬30nm的線。為了使孤立圖案之光的強度較密集圖案弱，而使用粗線。為了使密集圖案之邊端部分的光之強度也稍微下降，而分配較密集部分之中心稍微寬廣的32nm線。
    圖9之遮罩的光學像之對比像係示於圖10。在黑色遮光部分藉由正負反轉而形成孔。應形成孔的地方以外，亦可看到黑點，但由於黑點的尺寸小，故實際上幾乎不會被轉印。藉由將不需要的部分之格子線的寬變窄等之更進一步的最佳化，可防止不需要的孔之轉印。
    亦可使用同樣將格子狀的圖案排列於整面，僅在形成孔處配置粗點的遮罩。在採節距90nm，15nm寬的格子狀圖案上，如圖11所示之於欲形成點的部分配置粗點。顏色黑之部分為半色調的位移器部分。在孤立性之處配置較大的點(圖11中一邊為90nm)，且在密集部分配置一邊55nm之四角狀的點。點的形狀可為正方形，亦可為長方形、菱形、五角形、六角形、七角形、八角形以上的多角形、圓形。圖11的遮罩之光學像的對比像係示於圖12。即令相較於圖10，亦存在幾乎相等的黑色遮光部分，表示係藉由正負反轉形成孔。
    使用如圖13所示之未排列格子狀圖案的遮罩時，如圖14所示之不會顯現黑色的遮光部分。由於該情況中孔之形成有困難，或者，即令可形成，光學像的對比也低，故遮罩尺寸之不均勻成為大幅反映孔尺寸之不均勻的結果。 [實施例]
    以下表示合成例、實施例及比較例，並具體地說明本發明，但本發明並非限制於以下實施例。再者，下述例中，分子量及分散度係利用膠體滲透層析確認。 [合成例]
    光阻組成物所使用的高分子化合物係組合各個單體，光阻聚合物1與2、比較光阻聚合物2，在二氯乙烷中將鈀己酸乙酯與參全氟苯基硼烷作為催化劑進行共聚合反應，除此以外的光阻聚合物，在四氫呋喃(THF)溶劑下將2,2’-偶氮雙異丁腈(AIBN)作為催化劑進行共聚合反應，且各別於甲醇中析出結晶，並重複以己烷清洗後予以單離、乾燥，得到以下所示之組成的高分子化合物(光阻聚合物1~13及比較光阻聚合物1,2、混摻光阻聚合物1,2)。得到之高分子化合物的組成係以1H-NMR確認，分子量及分散度以利用THF溶劑的膠體滲透層析確認。
    光阻聚合物1
    分子量(Mw)=7,300
    分散度(Mw/Mn)=1.96
    光阻聚合物2
    分子量(Mw)=6,500
    分散度(Mw/Mn)=1.86
    光阻聚合物3
    分子量(Mw)=6,500
    分散度(Mw/Mn)=1.61
    光阻聚合物4
    分子量(Mw)=6,100
    分散度(Mw/Mn)=1.64
    光阻聚合物5
    分子量(Mw)=8,500
    分散度(Mw/Mn)=2.21
    光阻聚合物6
    分子量(Mw)=8,800
    分散度(Mw/Mn)=2.28
    光阻聚合物7
    分子量(Mw)=6,500
    分散度(Mw/Mn)=1.89
    光阻聚合物8
    分子量(Mw)=6,900
    分散度(Mw/Mn)=1.98
    光阻聚合物9
    分子量(Mw)=7,700
    分散度(Mw/Mn)=2.29
    光阻聚合物10
    分子量(Mw)=7,900
    分散度(Mw/Mn)=2.10
    光阻聚合物11
    分子量(Mw)=7,900
    分散度(Mw/Mn)=2.10
    光阻聚合物12
    分子量(Mw)=6,600
    分散度(Mw/Mn)=1.55
    光阻聚合物13
    分子量(Mw)=6,600
    分散度(Mw/Mn)=1.55
    比較光阻聚合物1
    分子量(Mw)=8,600
    分散度(Mw/Mn)=1.88
    比較光阻聚合物2
    分子量(Mw)=6,600
    分散度(Mw/Mn)=1.91
    混摻光阻聚合物1
    分子量(Mw)=8,900
    分散度(Mw/Mn)=1.93
    混摻光阻聚合物2
    分子量(Mw)=9,200
    分散度(Mw/Mn)=1.79
    [實施例、比較例] [光阻組成物、鹼可溶性保護膜形成用組成物之製備]
    使用高分子化合物(光阻聚合物及保護膜聚合物)，製備將以下述表1,2所示之組成溶解的溶液及下述表3所示之組成的保護膜形成用組成物溶液，以0.2μm的鐵氟龍(註冊商標)過濾器過濾的溶液。
    下述表中的各組成係如下所述。
    酸產生劑：PAG1~10(參照下述結構式)
    保護膜聚合物1、撥水性聚合物1
    分子量(Mw)=7,700
    分散度(Mw/Mn)=1.77
    鹼性化合物：淬滅劑1,2(參照下述結構式)
    有機溶劑：PGMEA(丙二醇單甲醚乙酸酯)CyH(環己酮) [ArF曝光圖案成形評價(1)]
    將以下述表1所示之組成製備的光阻組成物，旋轉塗佈於在矽晶圓上將日產化學工業(股)製抗反射膜以80nm之膜厚製成的基板上，並使用熱板於100℃烘烤60秒鐘，使光阻膜的厚度成為160nm。
    一邊將前述以ArF準分子雷射掃描器(Nikon(股)製、NSR-305B、NA0.68、σ0.73)於0.2mJ/cm2階段改變曝光量，一邊進行開放式(open frame)曝光。在曝光後於110℃烘烤(PEB)60秒鐘，以示於表1的顯影液(有機溶劑)進行60秒鐘浸置顯影後，使用示於表1的清洗液(有機溶劑)以500rpm清洗，之後，以2,000rpm旋乾(spin dry)，並於100℃烘烤60秒鐘，使清洗液蒸發。PEB之前係進行與前述相同的程序，亦進行以2.38質量%的四甲基氫氧化銨(TMAH)之顯影。測定PEB後的膜厚、有機溶劑顯影後的膜厚、TMAH水溶液顯影後的膜厚，並求得曝光量與膜厚的關係(對比曲線)。結果示於圖15~17。
    有機溶劑顯影的對比，甲基丙烯酸基礎之比較例1-1最高，而本發明的聚合物具有近似其的斜率(γ)。特別是比較彼此相同的環烯烴時，相較於比較例1-2，實施例1-1係顯示高溶解的斜率。
    [ArF曝光圖案成形評價(2)]
    將以下述表2所示之組成製備的光阻組成物，旋轉塗佈於下述基板上：在矽晶圓上將信越化學工業(股)製旋塗式碳膜ODL-50(碳之含量為80質量%)以200nm之膜厚成膜，且於其上方將含矽旋塗式硬遮罩SHB-A940(矽之含量為43質量%)以35nm之膜厚成膜的三層程序用之基板，並使用熱板於100℃烘烤60秒鐘，使光阻膜的厚度成為100nm。實施例2-1~2-15、2-17~2-20、比較例2-1、2-2中未進行保護膜之形成，實施例2-21中，在該光阻膜上旋轉塗佈示於表3的保護膜形成用組成物，於90℃烘烤60秒鐘，使保護膜的厚度成為50nm。
    將前述使用ArF準分子雷射浸潤掃描器(Nikon(股)製、NSR-610C、NA1.30、σ0.98/0.78、交叉極開口20度、方位角偏光照射、6%半色調相位移遮罩、晶圓上尺寸為節距90nm、線寬30nm之示於圖18之佈局(layout)的格子狀遮罩)，一邊改變曝光量，一邊進行曝光，且在曝光後於表4所示之溫度烘烤(PEB)60秒鐘，使顯影噴嘴以30rpm旋轉3秒鐘，同時從中流出乙酸丁酯，之後實施靜止浸置顯影27秒鐘，以二異戊醚清洗後旋乾，並於100℃烘烤20秒鐘，使清洗溶劑蒸發。
    以Hitachi High-Technologies(股)製TDSEM(S-9380)測定溶劑顯影之像被反轉之孔圖案50處的尺寸，並求得3σ之尺寸不均勻。結果示於表4。

    [ArF曝光圖案成形評價(3)]
    將以前述表2所示之組成製備的光阻組成物(光阻2-3,2-6、比較光阻2-1,2-2)，旋轉塗佈於下述基板上：在矽晶圓上將信越化學工業(股)製旋塗式碳膜ODL-50(碳之含量為80質量%)以200nm之膜厚成膜，且於其上方將含矽旋塗式硬遮罩SHB-A940(矽之含量為43質量%)以35nm之膜厚成膜的三層程序用之基板，並使用熱板於100℃烘烤60秒鐘，使光阻膜的厚度成為100nm。
    將前述使用ArF準分子雷射浸潤掃描器(Nikon(股)製、NSR-610C、NA1.30、σ0.98/0.78、交叉極開口20度、方位角偏光照射、6%半色調相位移遮罩、在晶圓上尺寸為節距90nm、線寬15nm之示於圖19之佈局的格子狀上配置點狀之圖案的遮罩)，一邊改變曝光量與聚焦位置，一邊進行曝光，且在曝光後於表5所示之溫度烘烤(PEB)60秒鐘，使顯影噴嘴以30rpm旋轉3秒鐘，同時從中流出乙酸丁酯，之後實施靜止浸置顯影27秒鐘，以二異戊醚清洗後旋乾，並於100℃烘烤20秒鐘，使清洗溶劑蒸發。
    以Hitachi High-Technologies(股)製TDSEM(S-9380)測定溶劑顯影之像被反轉之孔圖案50處的尺寸，並求得3σ之尺寸不均勻。結果示於表5。
    [ArF曝光圖案成形評價(4)]
    將以前述表2所示之組成製備的光阻組成物(光阻2-3,2-6、比較光阻2-1,2-2)，旋轉塗佈於下述基板上：在矽晶圓上將信越化學工業(股)製旋塗式碳膜ODL-50(碳之含量為80質量%)以200nm之膜厚成膜，且於其上方將含矽旋塗式硬遮罩SHB-A940(矽之含量為43質量%)以35nm之膜厚成膜的三層程序用之基板，並使用熱板於100℃烘烤60秒鐘，使光阻膜的厚度成為100nm。
    將前述使用ArF準分子雷射浸潤掃描器(Nikon(股)製、NSR-610C、NA1.30、σ0.98/0.78、交叉極開口20度、方位角偏光照射、6%半色調相位移遮罩、在晶圓上尺寸為節距90nm、線寬15nm之示於圖20之佈局的格子狀上配置粗格子之圖案的遮罩)，一邊改變曝光量，一邊進行曝光，且在曝光後於表6所示之溫度烘烤(PEB)60秒鐘，使顯影噴嘴以30rpm旋轉3秒鐘，同時從中流出乙酸丁酯，之後實施靜止浸置顯影27秒鐘，以二異戊醚清洗後旋乾，並於100℃烘烤20秒鐘，使清洗溶劑蒸發。
    以Hitachi High-Technologies(股)製TDSEM(S-9380)測定溶劑顯影之像被反轉之孔圖案的遮罩上之A位置與B位置的孔尺寸。結果示於表6。
    [ArF曝光圖案成形評價(5)]
    將以前述表2所示之組成製備的光阻組成物(光阻2-3,2-6、比較光阻2-1,2-2)，旋轉塗佈於下述基板上：在矽晶圓上將信越化學工業(股)製旋塗式碳膜ODL-50(碳之含量為80質量%)以200nm之膜厚成膜，且於其上方將含矽旋塗式硬遮罩SHB-A940(矽之含量為43質量%)以35nm之膜厚成膜的三層程序用之基板，並使用熱板於100℃烘烤60秒鐘，使光阻膜的厚度成為100nm。
    將前述使用ArF準分子雷射浸潤掃描器(Nikon(股)製、NSR-610C、NA1.30、σ0.98/0.78、偶極開口20度、方位角偏光照射、6%半色調相位移遮罩、在晶圓上尺寸為節距90nm、線寬30nm之示於圖18之佈局的格子狀遮罩)，一邊改變曝光量，一邊將相同處進行X偶極與Y偶極之2次的連續曝光，且在曝光後於表7所示之溫度烘烤(PEB)60秒鐘，使顯影噴嘴以30rpm旋轉3秒鐘，同時從中流出乙酸丁酯，之後實施靜止浸置顯影27秒鐘，以二異戊醚清洗後旋乾，並於100℃烘烤20秒鐘，使清洗溶劑蒸發。
    以Hitachi High-Technologies(股)製TDSEM(S-9380)測定溶劑顯影之像被反轉之孔圖案50處的尺寸，並求得3σ之尺寸不均勻。結果示於表7。
    [ArF曝光圖案成形評價(6)]
    將以前述表2所示之組成製備的光阻組成物(光阻2-3,2-6、比較光阻2-1,2-2)，旋轉塗佈於下述基板上：在矽晶圓上將信越化學工業(股)製旋塗式碳膜ODL-50(碳之含量為80質量%)以200nm之膜厚成膜，且於其上方將含矽旋塗式硬遮罩SHB-A940(矽之含量為43質量%)以35nm之膜厚成膜的三層程序用之基板，並使用熱板於100℃烘烤60秒鐘，使光阻膜的厚度成為100nm。
    將前述使用ArF準分子雷射浸潤掃描器(Nikon(股)製、NSR-610C、NA1.30、σ0.98/0.78、偶極開口20度、方位角偏光照射、6%半色調相位移遮罩、在晶圓上尺寸為節距90nm、線寬15nm之示於圖19之佈局的格子狀上配置點狀之圖案的遮罩)，一邊改變曝光量，一邊將相同處進行X偶極與Y偶極之2次的連續曝光，且在曝光後於表8所示之溫度烘烤(PEB)60秒鐘，使顯影噴嘴以30rpm旋轉3秒鐘，同時從中流出乙酸丁酯，之後實施靜止浸置顯影27秒鐘，以二異戊醚清洗後旋乾，並於100℃烘烤20秒鐘，使清洗溶劑蒸發。
    以Hitachi High-Technologies(股)製TDSEM(S-9380)測定溶劑顯影之像被反轉之孔圖案的尺寸，並求得成為40nm±5nm的聚焦範圍(DoF)。測定同一曝光量、同一對焦照內50處的孔尺寸，並求得3σ之尺寸不均勻。結果示於表8。
    [ArF曝光圖案成形評價(7)]
    將以前述表2所示之組成製備的光阻組成物(光阻2-3,2-6、比較光阻2-1,2-2)，旋轉塗佈於下述基板上：在矽晶圓上將信越化學工業(股)製旋塗式碳膜ODL-50(碳之含量為80質量%)以200nm之膜厚成膜，且於其上方將含矽旋塗式硬遮罩SHB-A940(矽之含量為43質量%)以35nm之膜厚成膜的三層程序用之基板，並使用熱板於100℃烘烤60秒鐘，使光阻膜的厚度成為100nm。
    將前述使用ArF準分子雷射浸潤掃描器(Nikon(股)製、NSR-610C、NA1.30、σ0.98/0.78、交叉極開口20度、方位角偏光照射、6%半色調相位移遮罩、晶圓上尺寸為節距90nm、寬55nm之示於圖7之配置點狀之圖案的遮罩)，一邊改變曝光量，一邊進行曝光，且在曝光後於表9所示之溫度烘烤(PEB)60秒鐘，使顯影噴嘴以30rpm旋轉3秒鐘，同時從中流出乙酸丁酯，之後實施靜止浸置顯影27秒鐘，以二異戊醚清洗後旋乾，並於100℃烘烤20秒鐘，使清洗溶劑蒸發。
    以Hitachi High-Technologies(股)製TDSEM(S-9380)測定溶劑顯影之像被反轉之孔圖案的尺寸，並求得成為40nm±5nm的聚焦範圍(DoF)。測定同一曝光量、同一對焦照內50處的孔尺寸，並求得3σ之尺寸不均勻。結果示於表9。
    [ArF曝光圖案成形評價(8)]
    將以前述表2所示之組成製備的光阻組成物(光阻2-3,2-6、比較光阻2-1,2-2)，旋轉塗佈於下述基板上：在矽晶圓上將信越化學工業(股)製旋塗式碳膜ODL-50(碳之含量為80質量%)以200nm之膜厚成膜，且於其上方將含矽旋塗式硬遮罩SHB-A940(矽之含量為43質量%)以35nm之膜厚成膜的三層程序用之基板，並使用熱板於100℃烘烤60秒鐘，使光阻膜的厚度成為100nm。
    將前述使用ArF準分子雷射浸潤掃描器(Nikon(股)製、NSR-610C、NA1.30、σ0.98/0.78、偶極開口20度、方位角偏光照射、6%半色調相位移遮罩、晶圓上尺寸為節距90nm、寬55nm之示於圖7之配置點狀之圖案的遮罩)，一邊改變曝光量，一邊將相同處進行X偶極與Y偶極之2次的連續曝光，且在曝光後於表10所示之溫度烘烤(PEB)60秒鐘，使顯影噴嘴以30rpm旋轉3秒鐘，同時從中流出乙酸丁酯，之後實施靜止浸置顯影27秒鐘，以二異戊醚清洗後旋乾，並於100℃烘烤20秒鐘，使清洗溶劑蒸發。
    以Hitachi High-Technologies(股)製TDSEM(S-9380)測定溶劑顯影之像被反轉之孔圖案的尺寸，並求得成為40nm±5nm的聚焦範圍(DoF)。測定同一曝光量、同一對焦照內50處的孔尺寸，並求得3σ之尺寸不均勻。結果示於表10。
    [表10] [ArF曝光圖案成形評價(9)]
    將表2所示的光阻組成物，旋轉塗佈於下述基板上：在矽晶圓上將信越化學工業(股)製旋塗式碳膜ODL-50(碳之含量為80質量%)以200nm之膜厚成膜，且於其上方將含矽旋塗式硬遮罩SHB-A940(矽之含量為43質量%)以35nm之膜厚成膜的三層程序用之基板，並使用熱板於100℃烘烤60秒鐘，使光阻膜的厚度成為100nm。
    將前述使用ArF準分子雷射浸潤掃描器(Nikon(股)製、NSR-610C、NA1.30、σ0.98/0.78、偶極開口20度、方位角偏光照射、6%半色調相位移遮罩、晶圓上尺寸為節距90nm、寬55nm之示於圖7之配置點狀之圖案的遮罩)，一邊改變曝光量，一邊將相同處進行X偶極與Y偶極之2次的連續曝光，且在曝光後於表11所示之溫度烘烤(PEB)60秒鐘，使顯影噴嘴以30rpm旋轉3秒鐘，同時從中流出表11所示之溶劑，之後實施靜止浸置顯影27秒鐘，以二異戊醚清洗後旋乾，並於100℃烘烤20秒鐘，使清洗溶劑蒸發。
    以Hitachi High-Technologies(股)製TDSEM(S-9380)測定溶劑顯影之像被反轉之孔圖案的尺寸，並求得成為40nm±5nm的聚焦範圍(DoF)。測定同一曝光量、同一對焦照內50處的孔尺寸，並求得3σ之尺寸不均勻。結果示於表11。
    [表11] [ArF曝光圖案成形評價(10)]
    將以前述表2所示之組成製備的光阻組成物(光阻2-3,2-6、比較光阻2-1,2-2)，旋轉塗佈於下述基板上：在矽晶圓上將信越化學工業(股)製旋塗式碳膜ODL-50(碳之含量為80質量%)以200nm之膜厚成膜，且於其上方將含矽旋塗式硬遮罩SHB-A940(矽之含量為43質量%)以35nm之膜厚成膜的三層程序用之基板，並使用熱板於100℃烘烤60秒鐘，使光阻膜的厚度成為100nm。
    將前述使用ArF準分子雷射浸潤掃描器(Nikon(股)製、NSR-610C、NA1.30、σ0.98/0.78、偶極開口20度、方位角偏光照射、6%半色調相位移遮罩、晶圓上尺寸為節距80nm、線寬40nm之排列X方向線的遮罩)，以適合前述之偶極照射進行第1次的曝光，接著，使用6%半色調相位移遮罩、晶圓上尺寸為節距80nm、線寬40nm之排列Y方向線的遮罩，以適合前述之偶極照射進行第2次的曝光，且在曝光後於表12所示之溫度烘烤(PEB)60秒鐘，使顯影噴嘴以30rpm旋轉3秒鐘，同時從中流出乙酸丁酯，之後實施靜止浸置顯影27秒鐘，以二異戊醚清洗後旋乾，並於100℃烘烤20秒鐘，使清洗溶劑蒸發。
    以Hitachi High-Technologies(股)製TDSEM(S-9380)測定溶劑顯影之像被反轉之孔圖案50處的尺寸，並求得3σ之尺寸不均勻。結果示於表12。
    [表12] [耐乾式蝕刻性評價]
    耐乾式蝕刻性的試驗中，將以前述表2所示之組成製備的光阻組成物，旋轉塗佈於下述基板上：在矽晶圓上將信越化學工業(股)製旋塗式碳膜ODL-50(碳之含量為80質量%)以200nm之膜厚成膜，且於其上方將含矽旋塗式硬遮罩SHB-A940(矽之含量為43質量%)以35nm之膜厚成膜的三層程序用之基板，並使用熱板於100℃烘烤60秒鐘，使光阻膜的厚度成為100nm。
    將前述使用ArF準分子雷射掃描器(Nikon(股)製、NSR-305B、NA0.68、σ0.85、通常照射)，以曝光量30mJ/cm2將晶圓整面曝光，並於100℃烘烤(PEB)60秒鐘，進行酸不穩定基之去保護。
    在CHF3/CF4系氣體之蝕刻試驗：
    東京威力科創(股)製乾式蝕刻裝置TE-8500P，求出蝕刻前後之光阻膜的膜厚差。
    蝕刻條件如下述所示。
    該評價中，係顯示膜厚差少者，亦即減少量少者有蝕刻耐性。耐乾式蝕刻性的結果示於表13。
    [表13]
    再者，本發明並不限定於前述實施形態。前述實施形態為例示，各種與本發明之申請專利範圍記載之技術思想有實質上同一構成而且發揮同樣作用效果者均包含在本發明之技術範圍。
    10‧‧‧基板
    20‧‧‧被加工基板
    30‧‧‧中間插入層
    40‧‧‧光阻膜
    50‧‧‧曝光
    圖1為說明涉及本發明的圖案成形方法者，(A)為在基板上形成光阻膜之狀態的剖面圖，(B)為將光阻膜曝光之狀態的剖面圖，(C)為以有機溶劑顯影之狀態的剖面圖。
    圖2表示採使用波長193nm之ArF準分子雷射的NA1.3透鏡、偶極照射、6%半色調相位移遮罩、s偏光之節距90nm、線尺寸45nm之X方向線的光學像。
    圖3同前述表示Y方向線的光學像。
    圖4表示重疊圖3的Y方向線與圖2的X方向線之光學像的對比像。
    圖5表示配置格子狀之圖案的遮罩。
    圖6為採NA1.3透鏡、交叉極照射、6%半色調相位移遮罩、方位角(Azimuthally)偏光照射之節距90nm、寬30nm之格子狀圖案的光學像。
    圖7為配置有採NA1.3透鏡、交叉極照射、6%半色調相位移遮罩、方位角偏光照射之節距90nm、一邊的寬為60nm之正方形點狀圖案的遮罩。
    圖8為同前述遮罩的光學像對比。
    圖9表示採節距90nm，於20nm線之格子狀圖案上，在欲形成點的部分配置十字之粗交叉線的遮罩。
    圖10表示圖9之遮罩的光學像之對比像。
    圖11表示採節距90nm，於15nm線之格子狀圖案上，在欲形成點的部分配置粗點的遮罩。
    圖12表示圖11之遮罩的光學像之對比像。
    圖13表示未排列格子狀圖案的遮罩。
    圖14表示圖13之遮罩的光學像之對比像。
    圖15為表示實施例1-1之曝光量與膜厚之關係的圖表。
    圖16為表示比較例1-1之曝光量與膜厚之關係的圖表。
    圖17為表示比較例1-2之曝光量與膜厚之關係的圖表。
    圖18表示ArF曝光圖案成形評價(2)、(5)所使用的格子狀遮罩。
    圖19表示在ArF曝光圖案成形評價(3)、(6)所使用的格子狀上配置有點狀的圖案之遮罩。
    圖20表示在ArF曝光圖案成形評價(4)所使用的格子狀上配置有粗格子的圖案之遮罩。
    圖21表示提升X方向線之對比的偶極照射之曝光機的孔徑形狀。
    圖22表示提升Y方向線之對比的偶極照射之曝光機的孔徑形狀。
    圖23表示提升X方向與Y方向之雙方的線之對比的交叉極照射之曝光機的孔徑形狀。
    10‧‧‧基板
    20‧‧‧被加工基板
    30‧‧‧中間插入層
    40‧‧‧光阻膜
    50‧‧‧曝光
    权利要求:
    Claims (19)
    [1] 一種圖案形成方法，其特徵在於：將光阻組成物塗佈在基板上，於加熱處理後以高能量射線將光阻膜曝光，且在加熱處理後使用利用有機溶劑之顯影液使未曝光部溶解，得到曝光部不溶解之負型圖案；該光阻組成物包含含有將具有經酸不穩定基取代的羥基之環烯烴聚合而成的重複單元之高分子化合物、酸產生劑、以及有機溶劑；或者包含含有將具有經酸不穩定基取代的羥基之環烯烴聚合而成的重複單元與鋶鹽之重複單元的高分子化合物、以及有機溶劑。
    [2] 如申請專利範圍第1項之圖案形成方法，其中，該含有將具有經酸不穩定基取代的羥基之環烯烴聚合而成的重複單元之高分子化合物，係具有下述通式(1)所示的重複單元(a1)及/或(a2)； (式中，R1~R4、R5~R8各別獨立地為氫原子、氰基、碳數1~6之直鏈狀、分支狀或環狀的烷基、烷氧羰基、或醚基，或者為具有內酯環的基團，R1~R4及R5~R8中之至少一個具有經酸不穩定基取代的羥基；m為0或1；a1、a2為0≦a1<1.0、0≦a2<1.0、0<a1+a2<1.0的範圍)。
    [3] 如申請專利範圍第2項之圖案形成方法，其中，該具有重複單元(a1)及/或(a2)的高分子化合物，更包含來自於具有選自於羥基、氰基、羰基、酯基、醚基、磺酸酯基、內酯環、羧基、羧酸酐基、碳酸酯基、馬來醯亞胺基、磺酸醯胺基中的密合性基之單體的重複單元(b)。
    [4] 如申請專利範圍第2或3項之圖案形成方法，其中，該具有重複單元(a1)及/或(a2)的高分子化合物，更包含羧基經酸不穩定基取代的下述重複單元(c1)及/或該重複單元(a1)及(a2)以外的羥基經酸不穩定基取代的重複單元(c2)； (式中，R10為氫原子或甲基，R為酸不穩定基，Z為單鍵或-C(=O)-O-R11-，R11為碳數1~10之直鏈狀、分支狀或環狀的伸烷基，亦可具有醚基、酯基、內酯環、羥基中之任一者，或者為伸萘基)。
    [5] 如申請專利範圍第1至4項中任一項之圖案形成方法，其中，該酸產生劑含有產生α位經氟取代之磺酸、醯亞胺酸或甲基化物酸(methide acid)之酸產生劑、以及α位未經氟取代之磺酸或經氟取代或是非取代之羧酸的磺酸酯之兩者。
    [6] 如申請專利範圍第1至5項中任一項之圖案形成方法，其中，該顯影液係選自於2-辛酮、2-壬酮、2-庚酮、3-庚酮、4-庚酮、2-己酮、3-己酮、二異丁酮、甲基環己酮、苯乙酮、甲基苯乙酮、乙酸丙酯、乙酸丁酯、乙酸異丁酯、乙酸戊酯、乙酸丁烯酯、乙酸異戊酯、乙酸苯酯、甲酸丙酯、甲酸丁酯、甲酸異丁酯、甲酸戊酯、甲酸異戊酯、戊酸甲酯、戊烯酸甲酯、巴豆酸甲酯、巴豆酸乙酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丙酯、乳酸丁酯、乳酸異丁酯、乳酸戊酯、乳酸異戊酯、2-羥基異丁酸甲酯、2-羥基異丁酸乙酯、苯甲酸甲酯、苯甲酸乙酯、乙酸苯甲酯、苯基乙酸甲酯、甲酸苯甲酯、甲酸苯乙酯、3-苯丙酸甲酯、丙酸苯甲酯、苯乙酸乙酯、乙酸2-苯乙酯中之1種以上。
    [7] 如申請專利範圍第1至6項中任一項之圖案形成方法，其中，利用高能量射線之曝光，係波長193nm之ArF準分子雷射微影、利用電子束的EB微影、或是波長13.5nm之EUV微影。
    [8] 如申請專利範圍第7項之圖案形成方法，其中，於波長193nm之ArF準分子雷射微影中，係使用配置有點狀之位移器圖案的半色調相位移遮罩，在點部分形成顯影後之孔圖案。
    [9] 如申請專利範圍第1至7項中任一項之圖案形成方法，其係使用半色調相位移遮罩，進行交叉之兩線的2次曝光，於線之交點形成顯影後之孔圖案。
    [10] 如申請專利範圍第1至7項中任一項之圖案形成方法，其係使用半色調相位移遮罩，於格子狀之位移器格子的交點形成顯影後之孔圖案。
    [11] 如申請專利範圍第8、9或10項中任一項之圖案形成方法，其中，點狀圖案、交叉之兩線或格子狀圖案為穿透率3~15%的半色調相位移遮罩。
    [12] 如申請專利範圍第8、9或11項中任一項之圖案形成方法，其係使用排列有第1位移器與第2位移器的相位移遮罩，僅於排列有粗位移器處形成孔圖案，該第1位移器係線寬為半節距以下之格子狀位移器，該第2位移器位於第1位移器上且其於晶圓上的尺寸，較第1位移器之線寬粗2~30nm。
    [13] 如申請專利範圍第8、9或11項中任一項之圖案形成方法，其係使用排列有第1位移器與點狀圖案之第2位移器的相位移遮罩，僅於排列有粗位移器處形成孔圖案，該第1位移器係線寬為半節距以下之格子狀位移器，該第2位移器位於第1位移器上且其於晶圓上的尺寸，較第1位移器之線寬粗2~100nm。
    [14] 如申請專利範圍第1至13項中任一項之圖案形成方法，其係將光阻組成物塗佈在基板上，在加熱處理後形成保護膜，以高能量射線將光阻膜曝光，且在加熱處理後使用利用有機溶劑之顯影液使保護膜與未曝光部溶解，得到曝光部不溶解之負型圖案；該光阻組成物包含含有將具有經酸不穩定基取代的羥基之環烯烴聚合而成的重複單元之高分子化合物、酸產生劑、以及有機溶劑；或者包含含有將具有經酸不穩定基取代的羥基之環烯烴聚合而成的重複單元與鋶鹽之重複單元的高分子化合物、以及有機溶劑。
    [15] 如申請專利範圍第14項之圖案形成方法，其中，形成該保護膜的材料，係使用具有1,1,1,3,3,3-六氟-2-丙醇殘基的高分子化合物為基礎並添加具有胺基或胺鹽之化合物的材料、或將在該高分子化合物中共聚合具有胺基或胺鹽之重複單元的材料作為基礎樹脂並溶解於碳數4以上的醇系溶劑、碳數8~12的醚系溶劑、或是該等之混合溶劑的材料。
    [16] 一種負圖案形成用光阻組成物，其特徵在於包含：高分子化合物，可溶解於選自於以下的顯影液：2-辛酮、2-壬酮、2-庚酮、3-庚酮、4-庚酮、2-己酮、3-己酮、二異丁酮、甲基環己酮、苯乙酮、甲基苯乙酮、乙酸丙酯、乙酸丁酯、乙酸異丁酯、乙酸戊酯、乙酸丁烯酯、乙酸異戊酯、乙酸苯酯、甲酸丙酯、甲酸丁酯、甲酸異丁酯、甲酸戊酯、甲酸異戊酯、戊酸甲酯、戊烯酸甲酯、巴豆酸甲酯、巴豆酸乙酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丙酯、乳酸丁酯、乳酸異丁酯、乳酸戊酯、乳酸異戊酯、2-羥基異丁酸甲酯、2-羥基異丁酸乙酯、苯甲酸甲酯、苯甲酸乙酯、乙酸苯甲酯、苯乙酸甲酯、甲酸苯甲酯、甲酸苯乙酯、3-苯丙酸甲酯、丙酸苯甲酯、苯乙酸乙酯、乙酸2-苯乙酯，且具有下述通式(1)所示之具有經酸不穩定基取代之羥基的重複單元(a1)及/或(a2)；酸產生劑；以及有機溶劑； (式中，R1~R4、R5~R8各別獨立地為氫原子、氰基、碳數1~6之直鏈狀、分支狀或環狀的烷基、烷氧羰基、或醚基，或者為具有內酯環的基團，R1~R4及R5~R8中之至少一個具有經酸不穩定基取代的羥基；m為0或1；a1、a2為0≦a1<1.0、0≦a2<1.0、0<a1+a2<1.0的範圍)。
    [17] 如申請專利範圍第16項之負圖案形成用光阻組成物，其中，該具有重複單元(a1)及/或(a2)的高分子化合物，更包含來自於具有選自於羥基、氰基、羰基、酯基、醚基、磺酸酯基、內酯環、羧基、羧酸酐基、碳酸酯基、馬來醯亞胺基、磺酸醯胺基中的密合性基之單體的重複單元(b)。
    [18] 如申請專利範圍第16或17項之負圖案形成用光阻組成物，其中，該具有重複單元(a1)及/或(a2)的高分子化合物，更包含羧基經酸不穩定基取代的下述重複單元(c1)及/或該重複單元(a1)及(a2)以外的羥基經酸不穩定基取代的重複單元(c2)； (式中，R10為氫原子或甲基，R為酸不穩定基，Z為單鍵或-C(=O)-O-R11-，R11為碳數1~10之直鏈狀、分支狀或環狀的伸烷基，亦可具有醚基、酯基、內酯環、羥基中之任一者，或者為伸萘基)。
    [19] 如申請專利範圍第16至18項中任一項之負圖案形成用光阻組成物，其中，該酸產生劑含有產生α位經氟取代之磺酸、醯亞胺酸或甲基化物酸之酸產生劑、以及α位未經氟取代之磺酸或經氟取代或是非取代之羧酸的磺酸酯之兩者。
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    法律状态:
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
    JP2011138344||2011-06-22||
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